Analiza zahtjeva performansititanijumske meteu različitim industrijama
Gmail:alisa@jmyunti.com
I. Osnovni zahtjevi performansi titanijumskih meta
① Čistoća: Kao jedan od glavnih pokazatelja performansi ciljanih materijala, čistoća ima vitalni uticaj na performanse tankih filmova. U praktičnim primjenama, zahtjevi za čistoćom cilja variraju od industrije do industrije. Na primjer, u industriji mikroelektronike, uz kontinuirano povećanje veličine silikonske pločice i kontinuirano smanjenje širine ožičenja, zahtjevi za čistoćom cilja također se povećavaju. U prošlosti je ciljna čistoća od 99,995% mogla zadovoljiti zahtjeve procesa 0.35um IC, ali sada priprema 0.18um linija zahtijeva da ciljna čistoća dostigne 99,999% ili čak 99,9999%.
② Sadržaj nečistoća: Nečistoće u ciljnoj čvrstoj tvari i kisik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja za taložene filmove. Stoga, mete za različite namjene imaju različite zahtjeve za sadržaj nečistoća. Na primjer, mete od čistog aluminija i legure aluminija koje se koriste u industriji poluvodiča imaju posebne zahtjeve za sadržaj alkalnih metala i sadržaj radioaktivnih elemenata.
③ Gustina: Da bi se smanjile pore u ciljnoj čvrstoj tvari i poboljšale performanse raspršenog filma, obično se traži da meta ima veću gustinu. Gustoća ciljanog materijala ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već također utječe na električna i optička svojstva filma. Osim toga, poboljšanje gustine i čvrstoće ciljanog materijala može također učiniti da on bolje izdrži termički stres tokom procesa raspršivanja. Stoga je gustoća također jedan od ključnih pokazatelja učinka ciljanog materijala.
④ Veličina zrna i distribucija veličine zrna: Ciljni materijal je obično polikristalna struktura, a veličina zrna može se kretati od mikrona do milimetara. Za isti ciljni materijal, brzina raspršivanja mete sa finim zrnima je obično veća od one mete sa krupnim zrnima; a distribucija debljine filma nanesenog raspršivanjem mete sa malom razlikom u veličini zrna (ujednačena distribucija) je ujednačenija.
2. Zahtjevi za čistoću za mete od titana u različitim industrijama
① Titanijumske mete koje se koriste u integrisanim kolima: Integrisana kola imaju izuzetno visoke zahteve za čistoćom za mete od titanijuma, obično veće od 99,995% kako bi se osigurale performanse i stabilnost filma.
② Titanijumske mete koje se koriste u ravnim displejima: Displeji sa ravnim ekranom uključuju displeje sa tečnim kristalima, plazma displeje, elektroluminiscentne displeje i ekrane za emitovanje polja. Ovi displeji često koriste tehnologiju raspršivanja za nanošenje tankih filmova tokom procesa proizvodnje. Među njima, titanijumske mete, kao jedna od važnih meta za raspršivanje, obično moraju imati čistoću veću od 99,9%. Osim toga, titanijumske mete se također mogu široko koristiti u visokotehnološkim poljima kao što su elektronika, informatička industrija, uređenje doma i proizvodnja automobilskog stakla. U ovim industrijama, titanijumske mete se uglavnom koriste za premazivanje integrisanih kola, ravnih displeja ili kao ukras i premaz stakla. Optimiziranjem performansi i čistoće titanijumskih meta, mogu se ispuniti zahtjevi različitih industrija za performansama i stabilnošću filma.
Kompanija: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
Država:Kina
Dodaj: Baoti cesta, Jintai, Baoji grad, Shaanxi, Kina
Cel:+86 18391896637(WHATSAPP)/18391894207
Gmail:alisa@jmyunti.com
Web stranica: www.jm-titanium.com
